12cr1mov热轧圆钢晶圆的退火方法,包括:提供一晶圆,所述晶圆包括多个区域,所述多个区域同心设置在所述晶圆上;对所述多个区域进行升温处理,所述升温处理具有多个升温阶段,每个所述升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对所述多个区域采用氮气吹冷方式进行降温处理.本发明提出的晶圆的退火方法可以提高晶圆的电性均匀性.
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PRODUCT LIST12cr1mov热轧圆钢晶圆的退火方法,包括:提供一晶圆,所述晶圆包括多个区域,所述多个区域同心设置在所述晶圆上;对所述多个区域进行升温处理,所述升温处理具有多个升温阶段,每个所述升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对所述多个区域采用氮气吹冷方式进行降温处理.本发明提出的晶圆的退火方法可以提高晶圆的电性均匀性.
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